下载精密液体保持器的探针端头的对准的技术资料

文档序号:2595252

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精密液体保持器(20)的探针驱动系统(24)按顺序将多个探针阵列(30)的探针端头(36)插入定位床(28)上公知位置上的定位插孔(76)内。通过驱动探针端头(36)和定位插孔(76)侧壁(88)上的点接触并检测这种接触,确定每个探针端头(...
该专利属于吉尔森公司所有,仅供学习研究参考,未经过吉尔森公司授权不得商用。

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