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表面检查装置及其方法制造方法及图纸
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文档序号:2594200
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本发明提供一种表面检查装置,其用具有行图像传感器(13)的摄像机(11)扫描检查对象物(10)并把所得到的图像数据输入到运算处理装置(16)中,并用行存储器(17)及加法器(18)、把相邻的两条主扫描线的图像数据相加并生成图像数据列,并用运...
该专利属于山田吉郎所有,仅供学习研究参考,未经过山田吉郎授权不得商用。
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