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一种完全光纤探针扫描式近场光学显微镜，包括激光照明系统、监视系统、样品架、光纤探针扫描机构、三维粗调装置、反馈控制及数据采集系统，基本构思是：将光纤探针固定在音叉上，通过三维扫描器，带动音叉上的光纤探针在样品表面附近进行扫描。当光纤探针逼近...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。

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