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本发明属于真空镀膜及微观表面科学技术领域，尤其涉及一种薄膜真空计的固定电极及其制备方法。所述固定电极包括基底，以及依次层叠设置于所述基底表面的缓冲层和导电层；所述缓冲层用于增强导电层和基底的结合力，改善固定电极表面微观形貌，有效的提高了薄膜...
该专利属于上海振太仪表有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海振太仪表有限公司授权不得商用。

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