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本发明为一种高透过率抗氧化碳化硅‑二氧化硅/金刚石多层复合自支撑膜，属于化学气相沉积技术领域。该多层复合自支撑膜由SiC‑SiO...
该专利属于太原理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过太原理工大学授权不得商用。

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