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本发明是一种新型快速椭圆偏振光测量系统。在传统光度式椭圆偏振光测量仪结构中，需采用机械转动方式控制起偏器或检偏器来进行光偏振态的方位角扫描。由于机械转动的速度有限，大大限制了椭圆偏振光测量的检测速度。本发明采用组合检偏器和二维ＣＣＤ阵列探测...
该专利属于复旦大学所有，仅供学习研究参考，未经过复旦大学授权不得商用。

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