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沿倾斜于一个表面的视角对该表面的一个区域成像的装置包含一个远焦光学中继装置（１９２），其用来通过汇聚该区域沿一个朝向视角的光轴方向的光射线来形成该区域倾斜的初始影像。一倾斜校正单元（１９４）用于校正初始影像的倾斜，以便形成一个充分不失真的中...该专利属于应用材料以色列股份有限公司;应用材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料以色列股份有限公司;应用材料有限公司授权不得商用。