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本发明公开了一种二维相移云纹干涉仪,包括了底座、激光器、扩束镜、非球面分光装置、被测物,激光器、扩束镜、非球面分光装置、被测物均依次置于光路中,激光器发出的光依次经过扩束镜、非球面分光装置后投射到被测物上,激光器、扩束镜、非球面分光装置、被...该专利属于中国船舶重工集团公司第七一一研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国船舶重工集团公司第七一一研究所授权不得商用。
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本发明公开了一种二维相移云纹干涉仪,包括了底座、激光器、扩束镜、非球面分光装置、被测物,激光器、扩束镜、非球面分光装置、被测物均依次置于光路中,激光器发出的光依次经过扩束镜、非球面分光装置后投射到被测物上,激光器、扩束镜、非球面分光装置、被...