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能够跟随被检查体的热膨胀或热收缩来容易地确保各电触头的边缘裕度，提高测定精度，并且能够降低电路基板的翘曲以防止接触部的位置偏移。本发明的探针卡具备：电路形成基板，其具有与布线电路连接的多个基板电极；多个电触头，它们具有使被检查体的电极端子与...
该专利属于日本麦可罗尼克斯股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过日本麦可罗尼克斯股份有限公司授权不得商用。

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