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音叉型原子力显微镜探头和应用制造技术
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文档序号:25888941
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本发明提供了一种音叉型原子力显微镜探头,所述探头包括石英音叉、电流放大器及补偿电路。还提供了该探头的应用。既可以实现对分布电容的补偿又可以在10mK温度对通过石英音叉的电流信号进行放大,从而可以降低驱动电压的幅度,以期望提高测量的分辨率。...
该专利属于中国科学院物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院物理研究所授权不得商用。
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