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本发明公开了一种温度加速器复合型石英摆片的制备方法，包括：S1、晶圆基材清洗，S2、晶圆正面金属层沉积，S3、晶圆背面金属层沉积，S4、匀胶、曝光，S5、显影，S6、金属层腐蚀，S7、基材腐蚀，S8、老化，S9、存储。温度传感器直接设置在摆...
该专利属于保定开拓精密仪器制造有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过保定开拓精密仪器制造有限责任公司授权不得商用。

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