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揭示了用于在像玻璃板这样的透明基片中检测缺陷的方法、装置和系统。该方法、装置和系统能够在透明基片中检测小于１００纳米的光程长度变化。...
该专利属于康宁股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过康宁股份有限公司授权不得商用。

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