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一种小型化质谱仪，包括外壳，外壳的内腔设有泵系统、电控组件及由支架支撑的真空室，真空室内腔通过隔板分成第一真空室和第二真空室，所述隔板上设有锥形孔，所述泵系统由机械泵和分子泵连接组成，所述机械泵与第一真空室连接，所述分子泵与第二真空室连接，...
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