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一种用于原子力显微镜的同轴照明显微镜光学系统，包括同光轴置放的八个成像透镜，以两直角棱镜的两斜平面胶合而成的立方胶合棱镜以及采用科勒照明结构的均匀照明光源。光源聚焦在视场光阑上，视场光阑成像在被探测物上，构成均匀照明。两两透镜胶合成三组双胶...该专利属于上海爱建纳米科技发展有限公司;中国科学院上海光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过上海爱建纳米科技发展有限公司;中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。