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本发明公开了一种微结构单向弯拉疲劳试验装置，该装置在一个悬置振动块的一侧设有驱动梳齿对，在悬置振动块的另一侧设有检测振动幅度的检测梳齿对；驱动梳齿对和检测梳齿对的外侧壁通过锚定层固定在硅基底上并分别与连接以产生周期性的静电力的驱动电极和连接...
该专利属于北京工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京工业大学授权不得商用。

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