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大尺寸砷化镓单晶结构的缺陷检测方法，包括研磨，抛光：机械抛光或化学抛光，采用化学抛光液配方为硫酸∶双氧水∶水＝３∶１∶１；位错腐蚀，将氢氧化钾放在银坩埚内加热，使氢氧化钾熔化加热至澄清状态时即放入晶片试样进行腐蚀，然后取出试样，冷却后用清水...该专利属于中国电子科技集团公司第四十六研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第四十六研究所授权不得商用。
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大尺寸砷化镓单晶结构的缺陷检测方法，包括研磨，抛光：机械抛光或化学抛光，采用化学抛光液配方为硫酸∶双氧水∶水＝３∶１∶１；位错腐蚀，将氢氧化钾放在银坩埚内加热，使氢氧化钾熔化加热至澄清状态时即放入晶片试样进行腐蚀，然后取出试样，冷却后用清水...