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通过利用能量束照射待检查的衬底，获得从待检查的衬底反射的能量束作为数字图像信号。当获得的数字图像信号的强度超过阈值时，将该数字图像信号探测为缺陷。基于包括在数字图像信号中的噪声信号的最大强度，设定该阈值。...
该专利属于松下电器产业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过松下电器产业株式会社授权不得商用。

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