下载照射试样的方法的技术资料

文档序号:2585085

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本发明涉及一种照射一试样或该试样的一个区域(关注区域ROI)的方法,在该方法中,将关于试样上的一个具体的点是否应该被照亮以及用什么方式照亮的信息,按照一个具体的地址存储在一个数据存储器中,其特征在于:检测试样的位置、取向和/或形状的变化,据...
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