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用于制造分层结构的方法和技术，该分层结构如电容微机械超声换能器以及结构自身。层状结构具有膜，该膜包括基于聚合物的层和在基于聚合物的层上的顶部电极。该膜悬置在密封腔上方，并且可以通过在顶部电极与底部电极之间施加电压来致动，顶部电极和底部电极可...
该专利属于大不列颠哥伦比亚大学所有，仅供学习研究参考，未经过大不列颠哥伦比亚大学授权不得商用。

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