下载一种真空环境束流能量在线调节装置的技术资料

文档序号:25843903

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本发明涉及一种真空环境束流能量在线调节装置,包括降能真空室、驱动部件和降能调节组件;所述降能真空室上设置有束流管道;所述降能调节组件与驱动部件连接,包括相互配合的两个降能片;所述降能片能够在所述降能真空室内重叠以改变降能厚度从而调节束流能量...
该专利属于中国原子能科学研究院所有,仅供学习研究参考,未经过中国原子能科学研究院授权不得商用。

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