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本发明公开了一种回旋离子束加工装置，属于离子加工设备技术领域。它包括工作台、离子源、离子束引出装置、离子束速度选择器、离子束聚焦组件、末端离子束束流检测器、三维移动平台。通过均匀磁场使得离子束做回旋运动，三维移动平台控制离子束逐渐接近工件表...
该专利属于上海琳鼎光学科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海琳鼎光学科技有限公司授权不得商用。

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