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本发明涉及一种基于ＭＥＭＳ的气体传感器组件，用于检测在含有含氟物质的气体中的含氟物质，例如，经过用ＨＦ、ＮＦ↓［３］等浸蚀清洗的半导体加工工具的流出物。在优选的具体实施方式中，这样的气体传感器组件包括自立式碳化硅支撑结构，该结构上涂布有气敏...
该专利属于高级技术材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过高级技术材料公司授权不得商用。

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