下载衍射光学元件的周期优化方法的技术资料

文档序号:25833165

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本发明提供一种衍射光学元件的周期优化方法,包括:(1)根据目标点阵的各个目标点的坐标以及衍射光学元件和目标平面之间的距离,计算各个目标点的衍射角;(2)初步选定衍射光学元件的周期;(3)计算各个目标点的衍射级次;(4)将衍射级次取整得到取整...
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