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本发明公开了一种四象限探测器镜头的光学质量检测系统,包括激光器、整形扩束准直镜头、被测四象限探测器镜头、毛玻璃、显微镜头、面阵图像传感器、精密转台以及显示器及图像处理软件。激光器发出的高斯激光光束经过整形扩束准直镜头后整形成为平顶光束,入射...该专利属于吉林省春曦光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过吉林省春曦光电科技有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种四象限探测器镜头的光学质量检测系统,包括激光器、整形扩束准直镜头、被测四象限探测器镜头、毛玻璃、显微镜头、面阵图像传感器、精密转台以及显示器及图像处理软件。激光器发出的高斯激光光束经过整形扩束准直镜头后整形成为平顶光束,入射...