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本发明公开了一种双相位测量式激光干涉直线度及位移同时测量装置和方法。包含具有拍频信号输出的双频激光器和以渥拉斯顿棱镜和半透射半反射平面镜组合为测量镜的测量单元，直线度误差及位移分别采用双相位测量模式，每种相位测量模式用两个光电探测器测量，四...
该专利属于浙江理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江理工大学授权不得商用。

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