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本发明涉及一种扫描探针声学显微成像用低频、高灵敏度、收发两用型传感器。所述的传感器是由高灵敏的机＊电能量敏感元件、相关机械结构组成。所述的传感器工作频率范围：２－３０ｋＨｚ，比通常的声学成像模式工作频率（几百ｋＨｚ－几十ＭＨｚ）低１－３个数...
该专利属于中国科学院上海硅酸盐研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海硅酸盐研究所授权不得商用。

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