下载一种提高氮化硅研磨效果的研磨装置的技术资料

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本实用新型公开了一种提高氮化硅研磨效果的研磨装置,包括减震底座、研磨头和研磨辅助块,所述减震底座顶部连接有固定支撑杆,且固定支撑杆内部插接固定有固定块,所述固定块和固定支撑杆通过固定螺栓连接,且固定块左侧插接固定有连接钢杆,所述连接钢杆左侧...
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