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一种基于针尖轨迹运动加工微纳复合结构的装置及方法，涉及一种加工微纳复合结构的装置及方法。z向竖直微米定位台固定在基座上方，用于带动刀具初步逼近加工工件表面，一维压电纳米位移台固定在z向竖直微米定位台上，用于控制加工深度，针尖轨迹运动加工模块...
该专利属于东北林业大学;哈尔滨工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过东北林业大学;哈尔滨工业大学授权不得商用。

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