下载硅基贴片及其制备方法的技术资料

文档序号:25818579

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本发明公开了一种硅基贴片及其制备方法,所述制备方法包括:S1、在硅片上制备具有塔尖的微针阵列结构;S2、在微针阵列结构表面制备pn结;S3、在硅片上微针阵列结构表面制备金属纳米颗粒,得到硅基贴片。本发明的制备方法工艺简单、成本低;硅基贴片可...
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