温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明关于一种重熔设备，包括：一炉腔室(50)、一电极棒(48)、以及一导引柱(30)。炉腔室(50)可定位在熔化站的坩埚(60)上方。电极棒(48)经由引入件(52)而可插入或插入在炉腔室(50)中，以接触一消耗性电极(58)。固定地连接...
该专利属于ALD真空技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ALD真空技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。