下载热线型气体传感器的技术资料

文档序号:2580574

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本发明公开了一种热线型气体传感器,该热线型气体传感器包括检测单元,所述检测单元包括衬底、加热电阻、电极、引线、敏感层,所述加热电阻、导电极、敏感层为膜状,所述电极包括第一电极和第二电极,所述衬底上依次设置膜状的第一电极、加热电阻、第二电极和...
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