下载选择性气敏传感器的技术资料

文档序号:2580085

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本发明提供一种选择性气敏传感器,该选择性气敏传感器用于检测是否存在例如氦气的测试气体,包括由选择性透气膜(22)密封的真空壳体(10)。该膜(22)是观察窗的一部分,其中窗玻璃(20)上设有孔,该孔由硅材料制成的膜(22)密封。膜壁(14)...
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