下载一种检测设备及检测设备的检测方法的技术资料

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一种检测设备及检测设备的检测方法,其中,该检测设备包括:探测单元,所述探测单元被配置为对待测试样进行第一检测和第二检测,所述第一检测包括对待测试样的边缘进行扫描检测、以确定所述待测试样的特征点位置与预定位置的偏离状态,所述第二检测包括对所述...
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