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本申请提供了一种光谱仪，包括：基板；光源模块，部分位于基板上，光源模块用于发射预定波长范围的光波，以对待测目标进行照射；光收集耦合模块，用于收集包括待测目标的光谱信息的光信号，并耦合至硅基分光模块；硅基分光模块，位于基板上，光收集耦合模块将...该专利属于中国电子科技集团公司信息科学研究院;联合微电子中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司信息科学研究院;联合微电子中心有限责任公司授权不得商用。