下载刀具保持器安装单元以及刻划装置的技术资料

文档序号:25789230

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本发明提供在刀具保持器安装单元中除了维持刻划轮更换作业性之外还较高地维持刻划形成的精度的刀具保持器安装单元以及刻划装置。刀具保持器安装单元(1)用于在脆性材料基板(W)形成刻划线的刻划装置(101),并具备刀具保持器(2)以及保持器接头(3...
该专利属于三星钻石工业股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过三星钻石工业股份有限公司授权不得商用。

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