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本发明涉及一种用于确定溅射靶的穿过通量（ＰＴＦ）的自动化装置和方法，这是通过以下方式实现的：在所述溅射靶的第一侧生成磁场，使所述磁场通过所述溅射靶并穿过所述溅射靶的第二侧，用磁场检测器在所述溅射靶的所述第二侧测量磁场，并在测量过程中用自动化...
该专利属于贺利氏有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过贺利氏有限公司授权不得商用。

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