下载微观元素多参数分析设备和方法的技术资料

文档序号:2577415

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本发明提出了一种分析微观元素的设备(DA),这种设备包括:第一,需分析的微观元素的测量空间(CM);第二,至少一个提供在测量空间(CM)内联合在一起的射线的光源(S),所述射线具有至少两个不同的分析波长,用来与测量空间(CM)内的微观元素交...
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