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无摩擦惯性步进扫描器特征是拉力器将压片拉向基座，ＸＹＺ压电扫描管的一端固定于基座，另一端托住压片并与之产生压力。工作时，施加Ｚ伸长信号和缓慢的ＸＹ信号，之后将这两个信号快速回撤使得ＸＹ回移过程发生在Ｚ回缩过程之内并使得压片的Ｚ方向惯性力将其...
该专利属于中国科学技术大学所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学技术大学授权不得商用。

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