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本发明公开了一种T‑FOF的等离子清洗和ACF的贴附组合机构,包括底板、平台组件以及清洗贴附组件,平台组件具有一等离子膜放置平台、安装于所述底板上的Y轴驱动机构,所述Y轴驱动机构上设有Y轴向移动的第一滑块组件,该第一滑块组件的顶面分别安装有...该专利属于深圳市鑫三力自动化设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市鑫三力自动化设备有限公司授权不得商用。
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