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本发明提供一种微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风，其中的微型麦克风防尘装置包括支撑载体和设置在支撑载体一侧的过滤膜；过滤膜包括固定部以及设置在固定部内部的过滤网；过滤网包括中心部以及环绕中心部设置的分区部；在中心部与分区部的结合处设置有第一...
该专利属于歌尔微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过歌尔微电子有限公司授权不得商用。

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