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阻隔材料气体渗透率的测量装置及测量方法制造方法及图纸
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文档序号:2576037
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本发明公开了一种具有双真空密封结构渗透气体取样装置和限流抽气管道的阻隔材料气体渗透率测量装置,包括具有双真空密封结构的渗透气体取样装置、超高真空系统、质谱规和校准装置,其中所述具有双真空密封结构的渗透气体取样装置通过法兰2、真空阀门4与质谱...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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