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一种锑化物超晶格甚长波红外探测器中抑制扩散暗电流的结构制造技术
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文档序号:25760140
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基于锑化物超晶格的甚长波红外探测器,包括从下到上的以下结构:衬底,缓冲层,中长波欧姆接触层,甚长波波段吸收层,中长波波段势垒层,中长波波段接触层,顶盖层;缓冲层外延于所述衬底之上;中长波波段接触层称为P区,外延于所述缓冲层之上;甚长波波段吸...
该专利属于南京大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京大学授权不得商用。
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