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本实用新型公开了用于晶体抛光的游星轮片，包括圆形基板、基板锯齿、加工工位、导流孔、晶片，待打磨抛光的晶片放置在加工工位中，基板锯齿通过与抛光设备的内外齿圈相啮合，带动游星轮片转动，从而使晶片一起转动，转动的过程中抛光液自上而下通过导流孔进入...
该专利属于上海新漫晶体材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海新漫晶体材料科技有限公司授权不得商用。

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