下载用于可移动部件在检验系统中定位的方法和装置的技术资料

文档序号:2574009

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本发明涉及一种用于可移动部件在检验系统,特别是测量或者分析系统中定位的方法和装置,其中,在该方法中可移动部件利用联接到可移动部件上的执行元件,通过执行元件借助驱动力运动,而从起始位置移动到末端位置内,以及可移动部件经由与可移动部件连接的固位...
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