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一种物理气相沉积系统可包括RF发生器，该RF发生器被配置为经由RF匹配网络将交流工艺信号传输到物理气相沉积室。RF匹配网络的控制器被配置为接收直流幅度和相位误差信号，并且响应于直流幅度和相位误差信号来改变RF匹配网络的阻抗。匹配网络在第一模...
该专利属于康姆艾德技术美国分公司所有，仅供学习研究参考，未经过康姆艾德技术美国分公司授权不得商用。

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