下载半导体结构及其形成方法的技术资料

文档序号:25713085

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种半导体结构及其形成方法,方法包括:提供衬底,衬底上具有第二鳍部层和第二鳍部层上的第一鳍部层;在衬底上形成伪栅极结构,伪栅极结构包括伪栅极层,伪栅极结构横跨第一鳍部层和第二鳍部层;在伪栅极结构两侧的第一鳍部层和第二鳍部层内形成源漏开口;在...
该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。