温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供一种半导体装置及其形成方法,半导体装置包含基底具有第一导电型,外延层具有第一导电型,设置于基底上,且外延层内具有沟槽,第一井区设置于外延层中且在沟槽下方,且具有不同于第一导电型的第二导电型,第一栅极电极设置于沟槽中,且具有第二导电...该专利属于世界先进积体电路股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过世界先进积体电路股份有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供一种半导体装置及其形成方法,半导体装置包含基底具有第一导电型,外延层具有第一导电型,设置于基底上,且外延层内具有沟槽,第一井区设置于外延层中且在沟槽下方,且具有不同于第一导电型的第二导电型,第一栅极电极设置于沟槽中,且具有第二导电...