下载一种零间隙光学平移台的技术资料

文档序号:2571137

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本实用新型公开了一种零间隙光学平移台,包括滑座、滑板、侧导轨、连接板、支承钢珠、导向钢珠、弹簧和测微头,采用无间隙配合,运动灵活,机械的性能稳定,精度高;能在-60摄氏度至90摄氏度的温度梯度内,在1×10的真空容器中保持常温时的1微米的精...
该专利属于中国科学院安徽光学精密机械研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院安徽光学精密机械研究所授权不得商用。

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