下载纳米图案的拼接方法和拼接设备的技术资料

文档序号:25707231

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本发明公开了一种纳米图案的拼接方法和拼接设备,所述拼接方法包括:窗口制作步骤、图形转印步骤、刻蚀步骤、去除步骤和拼接步骤,在窗口制作步骤中,在拼接基板上形成窗口膜层以获得构图基板,对窗口膜层进行构图,形成间隔设置的多个压印窗口,拼接基板包括...
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