下载一种局部光放大的硅基光电子集成芯片及泵浦耦合方法的技术资料

文档序号:25706987

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本发明实施例提供一种局部光放大的硅基光电子集成芯片及泵浦耦合方法,芯片包括光信号处理器件和传输波导,还包括增益层;增益层为在光信号处理器件上引出至少一根放大波导,在至少一根放大波导上蚀刻槽状结构且在槽状结构中填充增益材料形成的;和/或,在传...
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